• <samp id="dbo3b"><rp id="dbo3b"></rp></samp>

      1. <track id="dbo3b"></track>

        干式真空泵-螺桿真空泵-山東澤一真空設備有限公司

        服務熱線:0533-2804518


        公司新聞
        您的當前位置: 干式真空泵主頁 > 新聞動態 > 公司新聞 >

        干式真空泵類型選擇

        2020-08-06 13:19
              關于干式真空泵的相關知識我們真的講了不少了 ,那么接下來我們再為大家講述一下干式真空泵類型的選擇吧,請看下面的闡述吧:
            
        干式真空泵
              1、雙圓裂片式。其設計和目前較為流行和廣泛應用的羅茨泵非常相似。事實上,一些早期的干泵設計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設計使得氣體通路相當復雜,并且每一及都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時,為了達到好的真空度,對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然,這種設計由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。
          2、內部壓縮型螺桿式。除了使用一對非等距螺桿以外,內部壓縮型螺桿式設計和外部壓縮型螺桿式設計的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內部產生壓縮。這種設計由于產生內部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當的水平。但在很多工藝中,這種內部壓縮同多級泵一樣,非常容易造成氣體在泵體內的物理化學變化而產生固化或液化。
        干式真空泵
            3、組合式(羅茨+爪)。設計用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率,用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設計完全相同。也有些廠家將其末尾一層改為星型設計,這樣可以在旋轉一圈中將氣體分為五份,就像三圓裂片式設計可以將其分為三份。同樣,在很多工藝中,組合式設計的每一層都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。
          4、三葉圓裂片式。此種干式真空泵設計和雙圓裂片式設計的原理完全相同,只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設計有著相同的優點和缺點。為了進一步降低耗電量,在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達,但這也會導致扭矩減小,重新啟動的能力-下降。同雙圓裂片式設計一樣,三葉圓裂片式設計的每一層都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。
          5、外部壓縮型螺桿式。使用一對等距螺桿。這使得內部壓縮減到較小,同時使得氣體通路覺短也較為簡單。這樣,氣體在干式真空泵體內停留的時間也較短。雖然這種設計由于減少了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較高,但在很多復雜的半導體工藝中表現出較高的穩定性。這種單級設計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單,這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮氣。
              本期的主要內容就是這些了,對此感興趣的可以再深入的了解一下哦。

        山東澤一真空設備有限公司

        關于我們
        產品展廳
        干式真空泵
        螺桿真空泵
        爪式真空泵
        水環真空泵
        往復真空泵
        案例展示
        工程案例
        新聞動態
        公司新聞
        行業動態
        技術知識
        聯系我們

        山東澤一真空設備有限公司

        0533-2804518

        13806432442

        淄博市張店區灃水鎮政府向北300米

        技術支持:網絡推廣

        網站地圖

        掃一掃,訪問手機站

        山東澤一真空設備有限公司

        同性视频