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        干式真空泵的應用范圍

        2020-03-15 13:22
               干式真空泵的應用范圍是什么呢?這就是本期我們要為大家講的相關問題了,請看下面的具體講述吧:
                
        干式真空泵
         
         
             (1)干式真空泵適合用于化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,防止有機溶劑造成污染;
             (2)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝;
             (3)半導體的刻蝕工藝,這些生產工藝往往用到腐蝕性氣體和研磨微粒;
             (4)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,在這些工藝中,不希望微粒混入油泵中,而是排出泵外,用干式真空泵可以解決;
             (5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。
              本期的主要內容就是這些了,對此感興趣的可以再深入的了解一下哦。

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