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        干式真空泵的設計越來越重視其穩定性

        2019-11-14 16:13
                對于不同類型的干式真空泵,我們都渴望能夠將其物理尺寸減小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾,因為真空泵的抽氣速率與真空泵的容積成正比,物理尺寸小意味著容積也小。當然,還有一個影響真空泵的抽氣速率的重要因素,那就是轉速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配,就需要提高它的轉速。而想要改變真空泵的轉速有兩種方法,一是改變電源的頻率,即采用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動比。其中,采用變頻器的好處是可以提供一個閉環控制,但在大負載下容易引起扭距的損失。而改變齒輪箱的傳動比是一種非常經濟的方法,當然,它只能提供不可控的單一轉速。
              現在,可以看到干式真空泵有著如此多的不同設計,它們各自有著自己的特性和優缺點。一直以來,使用成本是一個影響人們選擇真空泵的重要因素。越來越多的真空泵用戶意識到也應該將真空泵運行的穩定性考慮進去。因為真空泵的意外出錯會引起機器的使用效率降低,影響到晶圓的生產和交貨期,甚至造成所加工晶圓的報廢和機器其它部件的損壞。由于螺桿式設計為單級設計,同多級泵如圓裂片式,爪式以及組合式相比,其在零件的使用數量上減少了60%。這使得其在穩定性和將來的維修成本上有很大的優勢。
               干式真空泵如果是在第一次試泵時卡住不能啟動和運轉,一般要考慮是不是在管路連接和安裝時有金屬異物(如螺絲、焊渣等)掉入泵內卡住轉子導致泵不能啟動和運轉。
               在正常使用期間,停泵以后無法再次啟動,一般是因為所抽氣體中的冷凝物料滯留在泵體內在常溫下凝固致使2個轉子之間以及轉子與泵體之間發生粘結而無法啟動,或者是因為所抽氣體中粉塵太多滯留泵體內擠住轉子不能轉動。
               如果發生真空泵不能啟動和運轉的現象,一般情況下先不要拆解泵體,有異物的可以試試人工反轉取出異物,使用后的泵可以試試用溶劑溶解處理,確實無法解決的再考慮拆解泵體進行清理。
               目前市面上的干式真空泵多用夾套冷卻水對轉子進行冷卻。而有的立式螺桿干式真空泵的冷卻系統更獨特,比如在泵內增加了螺桿內部冷卻劑冷卻及直接氣體冷卻,很好的維持內表面的溫度,不至于溫度過高或過低,始終維持在一個合適的溫度,以防被抽的熱敏性物質分解,及高溫易聚合的物質,比如宇宙星真空機電設備的干式真空泵就比較適合。
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